异物消除工装和加工系统

授权

摘要

本实用新型公开一种异物消除工装和加工系统，该异物消除工装用于消除产品表面的异物，异物消除工装包括基体、定位组件、吹气组件及抽吸组件，基体内设有振动器；定位组件包括底板和盖板，底板设于基体，盖板设有容纳槽以及连通容纳槽的静电腔和抽吸孔，静电腔与抽吸孔呈间隔设置，容纳槽与底板配合形成用于放置产品的放置空间；吹气组件与静电腔连通，吹气组件通过静电腔向放置空间内的产品吹离子风；抽吸组件与抽吸孔连接，抽吸组件通过抽吸孔抽取放置空间内产品表面的异物。本实用新型的异物消除工装不仅能有效清除了产品表面的异物，且不损坏产品，提高产品的质量、品质以及产品良率。

基本信息

专利标题：

异物消除工装和加工系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021925793.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-04

授权号：

CN213671024U

授权日：

2021-07-13

发明人：

于上家牛雪雷詹新明

申请人：

青岛歌尔微电子研究院有限公司

申请人地址：

山东省青岛市崂山区松岭路396号106室

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所

代理人：

梁馨怡

优先权：

CN202021925793.5

主分类号：

B08B15/04

IPC分类号：

B08B15/04 B08B13/00 H05F3/06 H01L21/67