一种MMP颗粒物去除装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种MMP颗粒物去除装置，包括壳体，所述壳体内设有净化结构；其中，净化结构包含有：过滤棉、过滤网、活性炭盒、活性炭、负离子静电层、除潮层以及更换组件；所述过滤棉安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网安装在所述壳体内前后壁面上，所述过滤网位于所述过滤棉右侧，所述活性炭盒位于所述壳体内部与所述壳体之间设有跟更换组件，所述活性炭盒位于所述过滤网右侧，所述活性炭安装在所述活性炭盒内部，所述负离子静电层安装在所述壳体内前后壁面上，所述负离子静电层位于所述活性炭盒右侧，本实用新型涉及精密半导体制备辅料加工设备技术领域，解决了现有的MMP颗粒物长时间吸入对人体存在危害的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种MMP颗粒物去除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021946285.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213221507U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
张雷陈志清徐鹏飞
申请人 ：
势润化学科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区阳镇浦卫公路16299弄13号5层505室G8
代理机构 ：
广东有知猫知识产权代理有限公司
代理人 ：
李志海
优先权 ：
CN202021946285.5
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 B01D46/30 B01D46/10 B01D46/50 B01D46/00 B01D53/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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