一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置
授权
摘要
本实用新型属于传感器测试领域，并具体公开了一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置。该性能测试装置包括上盖和底座，其中上盖中进气孔和出气孔与反应腔相连通；反应腔下方的上盖密封圈凹槽用于放置上盖密封圈，上盖限位凹槽用于与底座配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；底座中底座限位凹槽与上盖限位凹槽配合用于放置待测石英晶体微天平传感器；底座密封圈凹槽用于放置底座密封圈；引线孔用于放置引线。本实用新型利用上盖限位凹槽和底座限位凹槽相互配合对石英晶体微天平传感器进行限位，并利用上盖密封圈和下盖密封圈增强气密性，并保证较好的电极接触性能，同时还能够缓解石英晶体微天平传感器的接触压力。
基本信息
专利标题 ：
一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021983454.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN212807107U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
史铁林林建斌谭先华廖广兰罗京孔令贤段暕
申请人 ：
华中科技大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 ：
华中科技大学专利中心
代理人 ：
石梦雅
优先权 ：
CN202021983454.2
主分类号 ：
G01D18/00
IPC分类号 ：
G01D18/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D18/00
测试或校准大组G01D1/00-G01D15/00中列入的设备或装置
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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