一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法

授权

摘要

本发明公开了一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，器件结构包括在石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。制备方法主要包括：在晶振片表面光刻电极图案；对电极图案之外的光刻胶及光刻胶表面的电极材料进行剥离；于电极表面光刻敏感层图案；于上述敏感层图案表面沉积敏感层材料；对敏感层图案之外的光刻胶及光刻胶表面的敏感材料进行剥离；重复上述操作，对已有敏感层图案的电极表面进行套刻直到制备完成敏感阵列。本发明所设计的一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，可以同时检测多种目标传感对象，提升检测范围，提高检测效率，得到更准确的测试结果。

基本信息

专利标题：

一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112051307A

申请号：

CN202010851263.9

公开（公告）日：

2020-12-08

申请日：

2020-08-21

授权号：

CN112051307B

授权日：

2022-04-22

发明人：

廖广兰林建斌史铁林何春华罗京孔令贤

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

代理机构：

华中科技大学专利中心

代理人：

李智

优先权：

CN202010851263.9

主分类号：

G01N27/00

IPC分类号：

G01N27/00 G01N30/00