一种制备石英晶体微天平传感器的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种制备石英晶体微天平传感器的方法，所述石英晶体微天平传感器是在石英晶体微天平晶振的电极表面涂覆复合的金属镀膜层和镀钛膜层，所述金属镀膜层为ZnO纳米膜，厚度为20‑40nm；所述镀钛膜层为TiO2纳米膜，厚度为20‑40nm。本发明提供的制备方法制备得到的石英晶体微天平传感器电极涂层厚度小且厚度均匀，从而使得电极表面任一位置的质量变化灵敏精确，石英晶体微天平传感器接收的电信号频率变化更加精确，增加了石英晶体微天平传感器的测量精度，具有较高的适应性。
基本信息
专利标题 ：
一种制备石英晶体微天平传感器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114441362A
申请号 ：
CN202111668898.6
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
司士辉余坦雷
申请人 ：
杭州诺蒙微晶生物科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路1199号1幢1单元1902-1907室
代理机构 ：
杭州创智卓英知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐超文
优先权 ：
CN202111668898.6
主分类号 ：
G01N5/00
IPC分类号 ：
G01N5/00 G01D5/243
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N5/00
用称量的方法分析材料，例如称量从气体或液体分离出的微粒
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 5/00
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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