一种用于真空蒸发设备的散热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管，所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空蒸发设备的散热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022042677.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN213327803U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
李长栋魏承亚魏俊杰
申请人 ：
山东沐东真空科技有限公司
申请人地址 ：
山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段（建委对过）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022042677.5
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
