一种直线运动平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种直线运动平台，包括底座、位于所述底座上的第一直线模组以及能够沿所述第一直线模组长度方向进行运动的第二直线模组；所述底座上设有下沉式容纳腔，所述容纳腔内设置有CCD影像系统，所述第一直线模组包括第一直线电机以及能够沿所述第一直线电机长度方向进行运动的第一运动座，所述第二直线模组通过连接座与所述第一运动座连接，所述第二直线模组包括第二直线电机以及能够沿所述第二直线电机长度方向进行运动的第二运动座，所述连接座与所述第二运动座上均设有空腔，所述CCD影像系统与所述空腔位置对应。本实用新型解决了目前碳化硅晶圆切割时平台启动和停止时间长、定位不精准等问题，CCD影像系统能够实时观测晶圆。
基本信息
专利标题 ：
一种直线运动平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022067225.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-19
授权号 ：
CN213614828U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
胡剑
申请人 ：
苏州汉立光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区春辉路11号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022067225.2
主分类号 ：
B23K26/38
IPC分类号 ：
B23K26/38 B23K26/064 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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