一种具有解理标记的基板
授权
摘要
本实用新型提供的一种具有解理标记的基板，属于芯片解理技术领域，所述基板上具有适于使基板沿第一方向被解理的第一待解理区，所述第一待解理区沿所述第一方向延伸；光刻标示，包括至少一组标记，每组标记包括分设于所述第一待解理区两侧的图形，每侧的所述图形具有至少两个点，所述两个点的连线的延长线与所述第一方向形成的夹角为锐角或钝角；本实用新型的具有解理标记的基板，解理设备通过识别第一待解理区的两侧的两个点位置，从而确定第一待解理区的位置，实现第一方向的切割，同时，保证解理的过程中，芯片不会出现崩塌或者裂痕的现象。
基本信息
专利标题 ：
一种具有解理标记的基板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022095950.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-22
授权号 ：
CN212784188U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
杨国文刘中华李颖赵卫东张艳春张继宇魏文超
申请人 ：
度亘激光技术（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园金鸡湖大道99号西北区20幢215、217室
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑越
优先权 ：
CN202022095950.0
主分类号 ：
H01S5/10
IPC分类号 ：
H01S5/10 H01S5/00
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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