用于压力传感器的感振结构
授权
摘要
本实用新型提供一种用于压力传感器的感振结构，该用于压力传感器的感振结构包括膜片，所述膜片具有中性面、与所述中性面同心的多个环形凸部、以及位于所述多个环形凸部与所述中性面相反的一侧的压接段，所述压接段的平整度为A，0≤A≤0.025mm。
基本信息
专利标题 ：
用于压力传感器的感振结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022109096.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213022085U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
王小平曹万李凡亮吴登峰施涛
申请人 ：
武汉飞恩微电子有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖开发区高新大道818号医疗器械园B12栋3楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022109096.9
主分类号 ：
G01L7/08
IPC分类号 ：
G01L7/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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