本实用新型公开了一种等离子体辅助烧结装置及系统，属于辅助烧结装置技术领域，装置包括x轴传动模块、y轴传动模块与z轴传动模块；x轴传动模块上设有放置待烧结材料的置物平台；y轴传动模块上相对置物平台设置有炬固定件，炬固定件用于放置等离子体炬；z轴传动模块上与垂直x轴传动模块设置，并与y轴传动模块连接。本实用新型通过三个传动模块，使等离子体炬相对待烧结材料能够给实现x轴、y轴、z轴方向的轴向移动，具有灵活移动功能，适用于大面积膜层制备；另一方面，等离子体炬具有较好灵活性，能够有效避免由于长时间进行固定烧结，产生径向分布的温度场导致膜层开裂的问题，能够有效进行薄膜材料的制备。