冷却系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种冷却系统。冷却系统用于对晶圆进行冷却降温，冷却系统包括：冷却本体，具有进气部、出气部及容纳腔，进气部和出气部均与容纳腔连通，容纳腔用于容纳晶圆；排气结构，设置在出气部处且位于容纳腔内，排气结构包括排气孔，出气部通过排气孔与容纳腔连通；抽气装置，抽气装置通过管路与出气部连通，以通过抽气装置将进入出气部的气体抽吸至冷却本体外；其中，排气孔为多个，多个排气孔沿第一预设方向和/或第二预设方向间隔设置，第一预设方向与第二预设方向之间呈第一夹角设置。本实用新型有效地解决了现有技术中冷却装置对晶圆的冷却效率较差的问题。
基本信息
专利标题 ：
冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022145348.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-25
授权号 ：
CN213273423U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
刘高山黄海辉王星周鹏张小强熊紫超
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
谭玲玲
优先权 ：
CN202022145348.3
主分类号 ：
F25D31/00
IPC分类号 ：
F25D31/00 F25D17/06 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D31/00
其他冷却或冷冻设备
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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