可翻转承载装置
授权
摘要
本发明涉及超高真空成膜设备技术领域，具体为一种可翻转承载装置，该装置包括行星基片架、旋转机构和翻转机构，旋转机构设置在行星基片架上表面，旋转机构的垂直转轴设置于行星基片架中央，垂直转轴上端与伺服电机的转子联动，转子与垂直转轴间设置有电磁离合器；垂直转轴下端与扇形旋转架的圆心角处连接；扇形旋转架弧面上设置轮齿；翻转机构设置在行星基片架开孔处，翻转机构的固定夹为环形，固定夹上设置用于锁定基片的夹具；固定夹两侧设置翻转转轴，行星基片架开孔处设置对应的轴承，一侧翻转转轴上设置翻转齿轮，所述翻转齿轮与扇形旋转架啮合。该装置机械结构简单，后期便于维护，可以得到广泛的应用。
基本信息
专利标题 ：
可翻转承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022159569.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-27
授权号 ：
CN213570715U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
段尧邓荣斌王念张丽娟鲁朝宇段登辉马兴民
申请人 ：
云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
云南省昆明市五华区教场东路31号
代理机构 ：
昆明祥和知识产权代理有限公司
代理人 ：
张亦凡
优先权 ：
CN202022159569.6
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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