料盒安装机构和等离子清洗机
授权
摘要
本实用新型公开一种料盒安装机构和等离子清洗机，其中，该料盒安装机构包括料盒安装座、夹紧把驱动件和夹紧组件。所述夹紧组件安装于所述料盒安装座，并包括沿一直线方向间隔相对的第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件中至少一者可被所述夹紧驱动件驱动并向另一者滑动，所述第一夹紧件和所述第二夹紧件用于共同夹紧待安装的料盒。本实用新型料盒安装机构可有效地解决现有的一些等离子清洗机无法灵活的安装不同宽度的料盒的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
料盒安装机构和等离子清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022166141.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-27
授权号 ：
CN213701067U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
朱霆叶贤斌李文强杨建新张凯
申请人 ：
深圳泰德半导体装备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区工业区坪山镇豪威新材料厂区3#综合楼103
代理机构 ：
深圳市恒程创新知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘冰
优先权 ：
CN202022166141.4
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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