PECVD晶圆加热用保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种PECVD晶圆加热用保护装置，设置于晶圆加热器表面；特点是包括保护装置主体，保护装置主体的上表面设置有阳极氧化膜；保护装置主体与晶圆加热器之间通过固定螺丝相连接固定，固定螺丝的顶部设置有绝缘盖，绝缘盖与固定螺丝外端相配合连接；优点是在工艺过程中晶圆加热器表面不会受到损伤，只需及时更换低成本的表面防护装置既可以继续生产，大大降低了维修成本，简化了原先需要拆卸晶圆加热器的复杂过程。
基本信息
专利标题 ：
PECVD晶圆加热用保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022199614.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213507190U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
贾昆良
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
代理机构 ：
靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈秀兰
优先权 ：
CN202022199614.0
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/50 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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