气控微动平台装置
授权
摘要

本实用新型涉及高精度定位及位移控制技术领域,提供了一种气控微动平台装置。该气控微动平台装置,包括比例调节阀和微动平台,比例调节阀包括阀体,阀体设有进气通道、支气通道和出气通道,进气通道通过喷嘴与支气通道连通,支气通道内设有活动铁芯,活动铁芯的第一端设有与喷嘴的出气口相适配的堵头,活动铁芯的第二端与微动平台连接,支气通道与出气通道连通。本实用新型通过向进气通道输送气体,并由喷嘴进入支气通道,实现对活动铁芯气动推动,进而实现对微动平台的位移,气体再由出气通道排出,通过调整进气流量,实现对微动平台位移量的控制,本装置结构简单,体积小,易于操作,采用闭环控制,消除环境因素影响,提高控制精度。

基本信息
专利标题 :
气控微动平台装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022206273.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-30
授权号 :
CN213512095U
授权日 :
2021-06-22
发明人 :
孔德保许丽琪
申请人 :
厚礼博精密仪器(北京)有限公司
申请人地址 :
北京市朝阳区北苑路40号23号、25号
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
李文丽
优先权 :
CN202022206273.5
主分类号 :
F16K1/00
IPC分类号 :
F16K1/00  F16K1/32  F16K1/36  F16K1/42  F16K27/02  F16K31/11  F16K37/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K1/00
提升阀,即带有闭合元件的切断装置,闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
法律状态
2021-06-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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