一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置
授权
摘要
一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置,涉及人工晶体制备技术领域,本实用新型通过在籽晶夹头提拉机构(12)的两侧分别设置料盘(7),在两料盘上分别设置取料工位(2)和放料工位(8),实现了在不增大上炉室(6)直径的前提下拉制更多组硅芯的目的,即节约了硅芯炉的制造成本,又降低了硅芯炉的使用成本,同时还提高了机械手抓取籽晶夹头的准确度等,本实用新型具有结构简单,操作方便等特点,适合大范围的推广和应用。
基本信息
专利标题 :
一种用于硅芯炉的双料盘取放料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022290609.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN213896062U
授权日 :
2021-08-06
发明人 :
刘朝轩
申请人 :
洛阳市自动化研究所有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市高新开发区丰华路6号银昆科技园1号楼四层D10
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022290609.0
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B15/32 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2021-08-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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