硅片取放料装置

授权

摘要

本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片取放料装置。该取放料装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟、石英舟移动机构、硅片下降机构、花篮移动机构、定位机构，所述机台上安装有花篮移动机构、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟移动机构、硅片下降机构，机台上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔和用于穿过硅片下降机构的穿孔，石英舟移动机构上安装有用于定位石英舟的定位机构。本实用新型通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。

基本信息

专利标题：

硅片取放料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022237071.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-10

授权号：

CN213264577U

授权日：

2021-05-25

发明人：

闫善韵

申请人：

苏州璞智自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组

代理机构：

苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

赵艾亮

优先权：

CN202022237071.7

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90