一种硅片取放装置
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摘要
本实用新型公开了一种硅片取放装置，包括固定座和动力源，固定座上可移动地连接有驱动板，驱动板上连接有移动板，移动板上连接有用于吸附硅片的吸附装置，驱动板上连接有齿条，动力源包括伺服电机，伺服电机和减速机相连接，减速机的输出轴上连接有齿轮，齿轮和齿条相啮合。本实用新型能够方便快捷地实现硅片取放，节约了大量人力，提高了硅片取放效率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片取放装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022423839.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN214086610U
授权日 ：
2021-08-31
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵刘三利
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘相宇
优先权 ：
CN202022423839.X
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2021-08-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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