一种硅片取放机械臂移动机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片传输技术领域，涉及一种硅片取放机械臂移动机构。本实用新型具有结构简单、合理，自动化程度高，运行速度更快等优点，其通过移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动，实现取片吸盘在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，硅片传输更加稳定，同时移动组件带动两升降组件，可以更快捷的对左吸盘部件、右吸盘部件做组合动作或者分开动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片的缺陷，有效提高硅片传输效率。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片取放机械臂移动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021839802.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-28
授权号 ：
CN214136041U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵梁齐辉
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘相宇
优先权 ：
CN202021839802.9
主分类号 ：
B25J5/02
IPC分类号 ：
B25J5/02 B25J15/00 B25J15/06 B65G47/91 C30B35/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J5/00
装在车轮上或车厢上的机械手
B25J5/02
沿导轨移动的
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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