一种硅片取放机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片搬运设备领域，涉及一种硅片取放机构。本实用新型通过取放抓手将硅片从花篮与石墨舟之间进行相互搬运，可同时对应处理2石墨舟，4花篮或8花篮上的硅片取放需求，极大的提高了硅片取放效率，通在双面移动轨道两侧设置两个取放组件，即4个取放部件两两背靠背设置在双面移动轨道上，每个取放部件进行独立工作，X轴驱动部件可快速响应产能需要以及取放部件在双面移动轨道上远距离搬运硅片需求。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片取放机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021379812.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-14
授权号 ：
CN213026074U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵李学文
申请人 ：
罗博特科智能科技南通有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市开发区中央路76号海关大楼223-17室
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘相宇
优先权 ：
CN202021379812.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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