一种硅片取放料装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片取放料装置，包括龙门架运动机构和吸盘组件，龙门架运动机构水平设置，龙门架运动机构包括作为纵梁的X轴直线电机和作为横梁的Y轴直线电机，X轴直线电机连接于Y轴直线电机的两端，Y轴直线电机由X轴直线电机驱动沿X轴方向平移，吸盘组件通过Z轴气缸组件连接于Y轴直线电机，吸盘组件包括若干吸盘组，通过直线电机和气缸实现X、Y和Z轴的移动，且不限于吸盘组的数量，相较于机械臂成本显著降低。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片取放料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921164718.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-23
授权号 ：
CN210113648U
授权日 ：
2020-02-25
发明人 ：
张学强戴军张建伟罗银兵刘三利祝志强
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭磊
优先权 ：
CN201921164718.9
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-02-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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