一种硅片取放装置及取放方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片取放装置及取放方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114335253A
申请号 ：
CN202111678593.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
代威张宇郭立
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN202111678593.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/683 H01L21/677
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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