硅片放料装置

授权

摘要

本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片放料装置。该放料装置包括机台、石英舟、石英舟移动机构、硅片对齐机构一、双移动座线性模组、硅片抓取机构、硅片下沉机构、硅片对齐机构二、定位机构，所述机台上安装有石英舟移动机构、硅片对齐机构一、双移动座线性模组、硅片下沉机构、硅片对齐机构二，双移动座线性模组位于硅片对齐机构一和硅片对齐机构二上方。本实用新型通过可移动的石英舟来承载硅片。通过硅片对齐机构一将抓取前的硅片进行对齐。通过硅片对齐机构二将叠合在一起后的硅片进行对齐。通过硅片抓取机构进行硅片抓取。通过硅片下沉机构将硅片下沉入石英舟内。本申请提高了硅片装入石英舟的效率。

基本信息

专利标题：

硅片放料装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022237073.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-10

授权号：

CN213264578U

授权日：

2021-05-25

发明人：

闫善韵

申请人：

苏州璞智自动化科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组

代理机构：

苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

赵艾亮

优先权：

CN202022237073.6

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90