硅片上料抓取装置
授权
摘要

本实用新型涉及硅片传送设备领域,尤其是硅片上料抓取装置。该抓取装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、硅片对齐机构、双移动座线性模组、硅片抓取机构、传感器、花篮移动机构,所述机台上安装有花篮移动机构,花篮移动机构上连接有硅片花篮,机台下方设有硅片抬升机构,机台的台面上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔,机台上安装有硅片对齐机构和双移动座线性模组,双移动座线性模组位于硅片对齐机构上方。本实用新型通过可移动的硅片花篮将硅片移动至抓取工位。通过硅片抬升机构将硅片从花篮中抬出。通过硅片对齐机构将抬出的硅片拍齐。通过硅片抓取机构将拍齐的硅片抓起然后放入其他设备。本申请提高了硅片抓取的效率。

基本信息
专利标题 :
硅片上料抓取装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022237726.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-10
授权号 :
CN213445115U
授权日 :
2021-06-15
发明人 :
闫善韵
申请人 :
苏州璞智自动化科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴江区松陵镇菀坪社区诚心村11组
代理机构 :
苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵艾亮
优先权 :
CN202022237726.0
主分类号 :
B65G49/07
IPC分类号 :
B65G49/07  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2021-06-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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