一种硅片机械手抓取烘干结构
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摘要

本实用新型公开了一种硅片机械手抓取烘干结构,涉及到太阳能材料生产技术领域,包括固定架,固定架的上表面两侧均固定连接有连接杆,固定架的两侧均开设有活动滑道,两个活动滑道之间设置有固定梁,固定梁的中部固定连接有双轴气缸,双轴气缸的两端均固定连接有气缸轴。本实用新型通过设置双轴气缸,并且通过双轴气缸和气缸轴以及活动滑板的配合使用,能够带动两个活动夹板同时移动,从而通过活动夹板带动转盘移动,然后再通过转盘上的固定沟槽将待加工硅片进行固定,通过驱动电机和传动轴的配合使用,能够带动转盘旋转,从而通过转盘带动硅片旋转,这样就可以通过离心作用力将硅片表面的水分处理掉,有效提高硅片的加工质量。

基本信息
专利标题 :
一种硅片机械手抓取烘干结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020199446.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-24
授权号 :
CN211670201U
授权日 :
2020-10-13
发明人 :
闵利峰
申请人 :
闵利峰
申请人地址 :
黑龙江省绥化市北林区丰泽锦源二环路3号高层10号绥化市通利机械制造有限公司
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020199446.2
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L21/677  H01L21/67  
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法律状态
2020-10-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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