微型大视场超分辨显微成像装置
授权
摘要
一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台，本实用新型在实现超分辨显微成像的过程中，将极大地缩小装置的体积，且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率，同时具备优良的可移植性，可方便地嵌入到被检系统中。
基本信息
专利标题 ：
微型大视场超分辨显微成像装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022325695.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN214150462U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
白金玺马骅张霖石振东刘丽佳马可任寰柴立群姜宏振杨一
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202022325695.4
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G02B21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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