一种多工位全自动上下料式微电子制造机
授权
摘要
本实用新型公开了一种多工位全自动上下料式微电子制造机，包括制造机主体，该制造机主体包括底座、控制器及曝光组件，所述微电子制造机还包括两列平行间隔设置的加工工位、搬运机械手及上下料机械手，两列所述加工工位均设置于所述底座的顶部，每列所述加工工位均包括多个加工工位，其能够在两列加工工位之间运行，并能够通过旋转驱动机构切换机械夹爪或真空吸盘以抓取不同材质的产品工件，还设置有上下料机械手，两X轴直线驱动机构分别传动连接有上料夹爪及下料夹爪，通过上料夹爪及下料夹爪的设置可实现产品的上料和卸料，并搭配搬运机械手使用可将待加工产品自动转运至加工工位上，以此实现自动化生产，以降低人力成本，提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种多工位全自动上下料式微电子制造机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022393853.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-23
授权号 ：
CN213536505U
授权日 ：
2021-06-25
发明人 ：
石维亮
申请人 ：
南京苏泊威自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区尧化街道尧佳路7号上城风景北苑16幢806室
代理机构 ：
南京众联专利代理有限公司
代理人 ：
郭微
优先权 ：
CN202022393853.X
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91 B65G47/90 B65G43/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2021-06-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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