一种便于回收的吸尘式微电子制造用刻蚀机
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摘要
本实用新型涉及微电子技术领域，具体地说，涉及一种便于回收的吸尘式微电子制造用刻蚀机。其包括底板，所述底板顶部设有支撑架，所述支撑架外壁设有刻蚀机本体，所述支撑架顶部开设有空腔，所述空腔外壁通过气泵进气端连通有吸尘软管，所述吸尘软管端部连通有吸尘头，所述空腔内部滑动设有推板，所述推板外壁等间距设有多个毛刷，所述毛刷端部与所述空腔内壁紧密贴合，所述空腔端部连通有排料口。本实用新型可以将微电子制造原料表面的灰尘和刻蚀机本体使用时产生的粉尘收集存储，避免内含有稀有元素浪费掉，且方便后续集中收集粉尘。
基本信息
专利标题 ：
一种便于回收的吸尘式微电子制造用刻蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122069292.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-31
授权号 ：
CN216150564U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
姜鑫宇
申请人 ：
姜鑫宇
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市顺城区临江东路20号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122069292.2
主分类号 ：
B08B5/04
IPC分类号 ：
B08B5/04 B08B15/04 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/04
用带或不带辅助动作的抽气来清洁
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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