本实用新型公开了光刻机运动台反力抵消装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有光刻机主体，所述光刻机主体的正面设置有控制主机，所述光刻机主体的正面通过合页活动连接有开合门，所述开合门的正面设置有观察窗，所述光刻机主体的内底壁固定连接有减震器，所述减震器的表面设置有运行平台，所述运行平台的上表面设置有硅片台，所述硅片台的上表面设置有硅片。该光刻机运动台反力抵消装置，通过设置减震器，便于硅片台在运行平台上运行时产生的作用力能够通过减震器进行减震，通过设置压力弹簧和减力凸起，便于运行平台在运作时产生的作用力能够通过减力凸起和压力弹簧进行抵消，从而达到有效抵消运动台运作时产生反力的效果。