一种控制板组件及曝光机
授权
摘要
本实用新型揭示了一种控制板组件及曝光机，所述控制板组件包括控制板和一接地的屏蔽线，控制板与数字微镜器件相连，且控制板与屏蔽线相连。本实用新型提高了控制板控制信号的稳定性，避免出现投图漏光的现象，从而提高了曝光机的曝光效率和准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种控制板组件及曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022493280.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
CN213987168U
授权日 ：
2021-08-17
发明人 ：
李青云吴景舟马迪
申请人 ：
江苏友迪激光科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园标准厂房5号
代理机构 ：
苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
安纪平
优先权 ：
CN202022493280.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H05K9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-08-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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