腐蚀晶圆样品托装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型公开了一种腐蚀晶圆样品托装置，其包括篮体、连接部件、提拉杆、上移限位部件和平移限位部件。将晶圆斜竖在篮体后，通过平移限位部件和上移限位部件相配合能快速对晶圆的左、右、上、下位置进行限定，避免出现晃动现象；由于晶圆是斜竖放置，可实现与腐蚀剂快速浸入以及快速分离的目的，减少腐蚀剂的残留造成的过腐蚀现象，也方便控制腐蚀时间。而且在晶圆腐蚀过程中，只有晶圆边缘部分与篮体、平移限位部件和上移限位部件相接触，接触面积小，保证了腐蚀剂与晶圆的充分接触，提高了腐蚀均匀性，腐蚀效果好，另外连接部件上加设有孔设计，配合效果好，有效防止提拉过程中整体出现晃动现象，进而防止腐蚀剂的飞溅，提升操作安全。

基本信息

专利标题：

腐蚀晶圆样品托装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022522595.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-11-04

授权号：

CN213424939U

授权日：

2021-06-11

发明人：

郭松波杨军伟宋华平

申请人：

松山湖材料实验室

申请人地址：

广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司

代理人：

陈培琼

优先权：

CN202022522595.0

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/673