改变数值孔径时操作多粒子束系统的方法、相关联的计算机程序...
公开
摘要
公开了一种在不同操作点处操作多粒子束系统的方法。对于每个工作点，可以设定数值孔径，以使多粒子束系统的分辨率最佳。在此过程中，待扫描样品上相邻个体粒子束之间的束间距的边界条件保持恒定。出于改变数值孔径的目的，不会对系统做出机械变换。
基本信息
专利标题 ：
改变数值孔径时操作多粒子束系统的方法、相关联的计算机程序产品及多粒子束系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600221A
申请号 ：
CN202080054443.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
H.弗里茨I.米勒
申请人 ：
卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202080054443.2
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/09 H01J37/10 H01J37/12 H01J37/147 H01J37/28 H01J37/302 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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