粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。
基本信息
专利标题 ：
粒子束系统及其用于灵活设置单独粒子束的电流强度的用途
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503237A
申请号 ：
CN202080054165.0
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-05-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S.舒伯特D.蔡德勒G.梅塔利迪斯H.弗里茨R.伦克
申请人 ：
卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202080054165.0
主分类号 ：
H01J37/09
IPC分类号 ：
H01J37/09 H01J37/12 H01J37/26 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/09
光阑；与电子或离子光学装置相联的屏蔽；干扰场的补偿
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/09
申请日 : 20200523
申请日 : 20200523
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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