用于调节粒子束显微镜的方法和粒子束显微镜
公开
摘要
一种用于操作粒子束显微镜的方法，包括在偏转装置的给定激励和第一焦点设置下记录第一粒子显微镜图像、在偏转装置的给定激励和第二焦点设置下记录第二粒子显微镜图像、以及基于第一粒子显微镜图像、第二粒子显微镜图像和提前已知的函数关系确定偏转装置的新激励。函数关系表示当根据偏转装置的激励改变焦点设置时记录的粒子显微镜图像的位移。通过新激励，粒子束显微镜然后被调节，从而可以通过其记录清晰的图像。
基本信息
专利标题 ：
用于调节粒子束显微镜的方法和粒子束显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628209A
申请号 ：
CN202111490520.1
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S.迪默
申请人 ：
卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请人地址 ：
德国耶拿
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202111490520.1
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/28 H01J37/147
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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