传送系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够在用于储存多个物体的储存容器与用于对多个物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送多个物体的技术。一种用于在用于储存多个物体的储存容器(9)与用于对保持在托盘(8)上的多个物体进行批量处理的处理设备(2)之间传送多个物体的传送系统(1)，包括：将储存容器(9)安装在其上的安装部(31)；将多个物体安装在其上的载物台(41)；支撑托盘(8)的托盘支撑部(51)；在安装在安装部(31)上的储存容器(9)与载物台(41)之间传送多个物体的第一传送装置(44)；以及用于在载物台(41)与通过托盘支撑部(51)支撑的托盘(8)之间传送多个物体的第二传送装置(53)。
基本信息
专利标题 ：
传送系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114514601A
申请号 ：
CN202080066773.3
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
河合俊宏中村浩章小仓源五郎杉浦孝典谷山育志
申请人 ：
昕芙旎雅有限公司
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾贤伟
优先权 ：
CN202080066773.3
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20200923
申请日 : 20200923
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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