本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送系统，包括传动装置、传感检测装置、视觉检测装置和控制装置，控制装置包括运动控制器和工控机，传动装置包括携片机器人；传感检测装置用于检测携片机器人的位置，并向运动控制器发送反馈信号，视觉检测装置用于检测携片机器人的实时位置，并向工控机发送反馈信号，工控机用于接收运动控制器与视觉检测装置发送的反馈信号，并向运动控制器发送控制信号，运动控制器用于接收工控机发送的控制信号并控制携片机器人运动。直接解决运动控制过程中因遇到诸如正逆解错误，通信异常，信号干扰等问题时，晶圆传送无法及时采取智能预判，报警，停车等动作，造成高速撞车的风险、携片机器人受损的问题。