抛光垫的增材制造
实质审查的生效
摘要
用于抛光垫的增材制造的配方、系统与方法。配方包括单体、分散剂与纳米颗粒。制备配方的方法包括以下步骤：将是聚酯衍生物的分散剂添加至单体、将金属‑氧化物纳米颗粒添加至单体并使具有纳米颗粒与分散剂的单体接受声波处理以将纳米颗粒分散在单体中。
基本信息
专利标题 ：
抛光垫的增材制造
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114502324A
申请号 ：
CN202080069546.6
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-08-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
骆英东斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘阿什温·穆鲁加潘·乔卡林加姆张代化乌马·斯利德哈尔丹尼尔·雷德菲尔德拉杰夫·巴贾奈格·B·帕蒂班德拉胡·T·额苏达卡尔·马杜苏达南
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080069546.6
主分类号 ：
B24B37/24
IPC分类号 ：
B24B37/24 B29C64/112 B33Y10/00 B33Y40/10 B33Y70/10 B33Y80/00 C09D11/101 C09D11/104 C09D11/107 C09D11/322 C09K3/14 B29K33/00 B29K509/02 B29L31/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
B24B37/20
用于加工平面的研磨垫
B24B37/24
以垫的材料成分或特性为特征
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/24
申请日 : 20200818
申请日 : 20200818
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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