基于MEMS的相位空间光调制架构
公开
摘要
所描述的示例包括在衬底上具有驱动电极506的装置。该装置具有悬置在驱动电极上方并导电地耦合到平台电极512的平台504，其中平台被配置为响应于施加在驱动电极和平台电极之间的电压差而在垂直于衬底表面的方向上移动。该装置在平台上还具有镜柱508。该装置具有通过镜柱508耦合到平台的反射镜510，其中反射镜是矩形的。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS的相位空间光调制架构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556185A
申请号 ：
CN202080069718.X
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·霍尔T·A·巴利特利W·C·麦克唐纳
申请人 ：
德克萨斯仪器股份有限公司
申请人地址 ：
美国德克萨斯州
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
李英
优先权 ：
CN202080069718.X
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 B81B7/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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