用于SEM图像的BBP辅助缺陷检测流程
公开
摘要
将经渲染图像与扫描电子显微镜(SEM)图像对准以产生经对准经渲染图像。将参考图像与所述SEM图像对准以产生经对准参考图像。还生成阈值概率图。所述SEM图像及经对准参考图像的动态补偿可产生经校正SEM图像及经校正参考图像。可生成阈值缺陷图且使用基于宽带等离子体的性质过滤所述阈值概率图的缺陷及所述阈值缺陷图的信噪比缺陷以产生所关注缺陷团簇。
基本信息
专利标题 ：
用于SEM图像的BBP辅助缺陷检测流程
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600154A
申请号 ：
CN202080070441.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·巴塔查里亚G·丛S·帕克黄波士
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN202080070441.2
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06N3/04 G06N3/08 G06K9/62 G06V10/764 G06V10/82
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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