本发明提供了一种矩形晶片角缺陷的图像检测方法，对矩形晶片的已进行预处理的四个角图像分别进行检测，首先获取角图像的角边缘坐标数列，然后由角边缘坐标数列求得评判数列，最后根据评判数列的数值大小判断晶片是否存在角缺陷。本发明是通过同一晶片求取评判数列的，是基于同一晶片的自我比较，克服了不同晶片的角差异所产生的检测误差，可广泛应用于光面、半腐蚀、全腐蚀的晶片角缺陷检测之中，具有检测速度快准确度高、无需训练学习的优点，能够满足高速高精度晶片缺陷检测仪器设备的需求。