一种晶片缺陷检测装置
授权
摘要
本申请公开了一种晶片缺陷检测装置，属于晶片检测领域。该晶片缺陷检测装置包括：载物台，所述载物台用于承托待检测的晶片；背光组件，所述背光组件包括用于发出光线的光源，所述光线用于穿过放置在所述载物台的晶片；穿过所述晶片的光线相对于所述晶片延伸面的夹角能够调节。该晶片缺陷检测装置使用肉眼即可清晰的检测出晶片的缺陷，且不会存在应力线干扰的情况，可以提高检测精度，降低误检率；此外，可以直接对整片晶片进行大面积检测，从而观察到整个晶片的缺陷，大大缩减了检测时间；另外，可以防止漏检，提高了晶体中缺陷的检出率。
基本信息
专利标题 ：
一种晶片缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122026723.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-26
授权号 ：
CN216208523U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
吴殿瑞王永方黄长航邵红谢新昌
申请人 ：
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 ：
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
冯妙娜
优先权 ：
CN202122026723.7
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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