本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置，包括底座和固定安装在底座顶部一侧的检测箱，还包括检修机构、调节支撑机构、光源调节机构、旋转检测机构和角度调节机构，所述检修机构固定安装在检测箱内壁两侧，本实用新型通过设置有调节支撑机构和旋转检测机构，拉动抽板使抽板带动滑轮在滑轨内部移动抽出，从而带动电动升降套杆移动抽出，可以更加便捷的对晶片进行放置，工作人员无需将手伸入检测箱内部，使晶片的放置更加的稳定，避免晶片位置偏移，影响检查的效果，再推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹。