低微管100mm碳化硅晶片

发明专利申请公布后的驳回

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摘要

本发明涉及一种低微管100mm碳化硅晶片。公开了一种直径至少约100mm并且微管密度小于约25cm-2的高质量SiC单晶晶片。

基本信息

专利标题：

低微管100mm碳化硅晶片

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN103422174A

申请号：

CN201310081171.7

公开（公告）日：

2013-12-04

申请日：

2005-09-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

阿德里安.波维尔马克.布莱德罗伯特.泰勒.莱昂纳德

申请人：

科锐

申请人地址：

美国北卡罗来纳州

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

艾尼瓦尔

优先权：

CN201310081171.7

主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B29/36 C30B23/00

相关图片

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C30

晶体生长

C30B

单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置

C30B29/00

以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料

C30B29/10

无机化合物或组合物

C30B29/36

碳化物

法律状态

2019-01-11 ：

发明专利申请公布后的驳回

IPC(主分类) : C30B 29/36
申请公布日 : 20131204

2013-12-25 ：

实质审查的生效

号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101558129710
IPC(主分类) : C30B 29/36
专利申请号 : 2013100811717
申请日 : 20050927

2013-12-04 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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