用于对具有未知材料的平的物体进行轮廓测量的装置和方法
公开
摘要
本发明涉及一种用于对具有未知材料的平的物体(20)的物体表面(40)进行轮廓测量的方法和装置(2)，该装置包括：光学干涉测量系统(4)；椭圆偏振测量系统(5)；用于将光源(111)的光束分裂成干涉测量光束(410)和椭圆偏振光束(420)的分光器(82)；和评估单元，评估单元被构造成，由在干涉测量系统的检测器单元(250)中评估的评估光束(490)和在椭圆偏振传感器(220)中接收的传感器光束(520)查明物体表面(40)上的测量区域中的轮廓高度。干涉测量系统(4)包括分束器(91)、参考镜(60)和检测器单元(250)。椭圆偏振测量系统(5)包括：用于偏振椭圆偏振光束(420)并且将该椭圆偏振光束传递到物体表面(40)上的测量区域上的偏振器(190)；以及具有偏振滤光器的椭圆偏振传感器(220)，以确定所接收的传感器光束的偏振状态。
基本信息
专利标题 ：
用于对具有未知材料的平的物体进行轮廓测量的装置和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616437A
申请号 ：
CN202080075406.X
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-10-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
贝恩德·斯罗卡
申请人 ：
森特电子计量有限公司
申请人地址 ：
德国曼海姆
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202080075406.X
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/06 G01N21/21
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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