用于能谱技术的带电粒子检测
公开
摘要
本发明公开了一种用于在能谱分析中检测带电粒子的方法和设备。使以带电粒子束的形式从能量色散能谱分析仪接收到的带电粒子朝检测器加速。在检测像素阵列处接收经加速的带电粒子，所述检测像素阵列形成所述检测器。到达所述检测器处的所述带电粒子在能量色散方向上扩散。
基本信息
专利标题 ：
用于能谱技术的带电粒子检测
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616460A
申请号 ：
CN202080075585.7
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-11-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·巴纳德P·斯特吉斯卡尔
申请人 ：
VG系统有限公司;FEI公司
申请人地址 ：
英国柴郡
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
周全
优先权 ：
CN202080075585.7
主分类号 ：
G01N23/227
IPC分类号 ：
G01N23/227 G01N23/2273 G01T1/29 H01J49/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/227
测量光电效应，例如，光电子发射显微镜
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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