用于高速应用的带电粒子检测器封装
公开
摘要
带电粒子束系统可以包括检测器。用于检测器的封装可以具有包括两个销集的封装体，销集中的每个销集包括两个销。销集中的每个销可以被配置为连接到感测元件的两个端子中的一个端子。不同集合中的销可以被配置为连接到二极管的两个端子中的不同端子。销集可以被布置为具有对称性，使得当电流通过销集时生成的磁场由于对称性而减小。
基本信息
专利标题 ：
用于高速应用的带电粒子检测器封装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114631165A
申请号 ：
CN202080076753.4
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-10-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王勇新
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080076753.4
主分类号 ：
H01J37/244
IPC分类号 ：
H01J37/244
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器；所采用的组件或电路
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
