一种激光掺杂SE电池图形精度的检测方法
授权
摘要
本申请涉及一种激光掺杂SE电池图形精度的检测方法，包括如下步骤：步骤S1，分别测量待测电池片的激光线PT值、激光线间距值、边距偏移值、对角线差值、激光线的单侧偏移值、激光线的中线偏移值；步骤S2，分别判断上个步骤所测量的六种参数是否满足各自对应的精度要求；所述精度要求是根据SE电池图形的设计尺寸确定的。本申请的方案通过检测激光线的单侧偏移值、激光线的中线偏移值，能够精确地反映所有激光线的分布，在印刷工序之前及时发现SE电池图形异常的硅片，防止精度不够的硅片进入印刷工序从而在印刷对位时造成批量套印不良，有效避免丝网印刷图形与SE图形套印不良品的产生，提高经济效益。
基本信息
专利标题 ：
一种激光掺杂SE电池图形精度的检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112768365A
申请号 ：
CN202110031911.0
公开（公告）日 ：
2021-05-07
申请日 ：
2021-01-11
授权号 ：
CN112768365B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
王贵梅王玉肖张建军
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
赵越
优先权 ：
CN202110031911.0
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-05-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/66
申请日 : 20210111
申请日 : 20210111
2021-05-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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