关于矩阵型图形的检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种关于矩阵型图形的检测方法，其包括以下步骤：步骤一，将矩阵型图形拆分为多个同等分图形；步骤二，扫描电子显微镜对多个同等分图形进行定点拍照；步骤三，基于步骤二拍照的图形进行测量；步骤四，将步骤三的测量结果收集起来，进行分析，最终输出检测结果。本发明可以量测管芯区域，能检测异常区域的图形，有效监控与表征晶圆重复性矩阵图形的变化及差异性。
基本信息
专利标题 ：
关于矩阵型图形的检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334687A
申请号 ：
CN202111525694.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
米琳李志国
申请人 ：
华虹半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新洲路30号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘昌荣
优先权 ：
CN202111525694.7
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/66
申请日 : 20211214
申请日 : 20211214
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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