本发明公开了一种关于重复矩阵型图案缺陷的检测方法，其包括以下步骤：步骤一，首先对晶圆进行预扫描，确认重复矩阵图案密集区的走向；步骤二，改变扫描方向，保持扫描方向与重复矩阵图案走向平行，保证收集更多的散射光，使缺陷在偏振光下能够产生并增强信号强化缺陷信号；步骤三，运用傅立叶滤光器并通过相干衍射的原理，减少背景噪扰，更大程度的弱化背景从而增强信号。本发明对于重复矩阵型图案中小尺寸的缺陷具有较强的抓获能力，可以提高缺陷的信噪比，在当站检测出该种类型的缺陷进行工艺优化，降低低良风险。