一种图形化激光掺杂方法和装置
实质审查的生效
摘要
一种图形化激光掺杂方法和装置，属于光伏领域。图形化激光掺杂方法，包括：对目标图形进行分组，以形成至少两类图形；其中的，分组方法包括根据目标图形中各图形的掺杂时长，至少将具有相同掺杂时长的图形记为一类图形；对应于至少两类图形，在至少两个工序分别独立地通过激光对硅片进行激光掺杂。该掺杂方法可以缩短选择性发射极的制作周期。
基本信息
专利标题 ：
一种图形化激光掺杂方法和装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114267750A
申请号 ：
CN202111521815.0
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱波彭彪顾峰胡艳玲
申请人 ：
通威太阳能(安徽)有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
付兴奇
优先权 ：
CN202111521815.0
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/268
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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